电子行业使用气体的纯度及其表示方法

随着环境净化技术的迅速发展，对净化气体有要求的产品越来越多。纯化气体已成为重要产品。它已大量应用在电子器件、电子设备、航空航天、生物医学等许多企业。

由于气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等，所以可将组成气体的物质（或元素）称为该气体成分。因此，气体纯度的含意可理解为：除本气体成分外，所含其他物质的多少。例如，由制氮机制出的氮气纯度，是指除氮成分外，含的O₂、H₂、Ar、CO₂、H₂O、金属、尘粒等杂质的多少；氨气的纯度是指除NH₃成分外，含有的O₂、H₂、CO₂、H₂O、尘粒等杂质的多少；又如氮和氦的混合气，是指除N₂和He成分外，含有的O₂、CO₂、H₂O、尘粒等杂质的多少。

气体纯度的提法有多种，如普通纯、高纯、电子纯、特纯等。随着超大规模集成电路 (VLSI) 和特大规模集成电路 (ULSI) 的发展，又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切，只是粗略地讲了气体纯度的高低，没有真正说明气体纯度的大小。准确表示气体的纯度，主要有两种方法，即：

1. 用百分数表示，如99%，99.5%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%等。

2. 用“N”表示，如3N，5N，4.8N，5.5N，6N，7N等，N的数目与1中的9的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数。如4N (99.99%)，6N (99.9999%)，7N (99.99999%)，4.8N (99.998%)，5.5N (99．9995%)等。

3. 根据气体纯度的不同，通常又将气体纯度分为四级，即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体。下图给出气体纯度等级和器件生产工艺上的应用。