一般在电子行业中,对气体纯度、干燥度、颗粒等都有较高的技术要求。例如PSA制氮机现场一步制出的99.99%纯度的氮气,在大规模集成电路制程中仍然需要进一步纯化,甚至在使用末端还需要高效气体过滤器进行终端过滤,才能满足工艺使用要求。
在高纯、超高纯氮气的输送中,对输送管网也要针对性设计。管网应使气体纯化装置尽量靠近使用。管道应尽量减少支管、盲管和避免出现U形,以免用高纯氮气吹扫时造成盲路和短路,只依赖扩散置换,不易彻底清除杂质而成为污染源。
高纯氮气输送管道在停止通气时,应能用阀门密闭,防止受到大气污染。
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